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玻璃晶圆片

High Precision Glass Wafer

技术规格展示

参数 玻璃晶圆片规格
材料 玻璃、石英等
外径 4”、6”、8”、12
外径公差 +/-0.1mm
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
TTV <1μm
BOW <20μm
WARP <30μm
外瞧 20-10
粗糙度 Ra<1nm
倒边 45°,C0.2+/-0.1mm
镀膜 增透膜、反射膜、分光膜等

* 备注:可以根据客户需求定制


参数 玻璃晶圆片规格
材料 玻璃、石英等
外径 4”、6”、8”、12
外径公差 +/-0.1mm
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
TTV <1μm
BOW <20μm
WARP <30μm
外瞧 20-10
粗糙度 Ra<1nm
倒边 45°,C0.2+/-0.1mm
镀膜 增透膜、反射膜、分光膜等

* 备注:可以根据客户需求定制


用途

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