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玻璃通孔(TGV)

Through Glass Via(TGV)

技术规格展示

参数 TGV规格
材料 玻璃、石英等
晶圆尺寸 4”、6”、8”、12
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
最小孔径 20μm
通孔斜度 3~8°
通孔间距 50μm、100μm、150μm等
最大深宽比 1:10
金属镀层 可加工

* 备注:可以根据客户需求定制


参数 TGV规格
材料 玻璃、石英等
晶圆尺寸 4”、6”、8”、12
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
最小孔径 20μm
通孔斜度 3~8°
通孔间距 50μm、100μm、150μm等
最大深宽比 1:10
金属镀层 可加工

* 备注:可以根据客户需求定制


用途

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